Կիսահաղորդչային սարքավորումների և մաքուր սենյակների համար նախատեսված 5-առանցքային ֆրեզավորված կերամիկական մեկուսիչներ

Կիսահաղորդիչների արտադրության և մաքուր սենյակների միջավայրերի բարձր ռիսկային աշխարհում յուրաքանչյուր բաղադրիչ պետք է ապահովի անթերի աշխատանք։ՖՖԹ, մենք մասնագիտանում ենք արհեստների մեջ5-առանցքային ֆրեզավորված կերամիկական մեկուսիչներորոնք վերաիմաստավորում են ճշգրտությունն ու հուսալիությունը։ Ավելի քան 20+Տարիների փորձի շնորհիվ մեր լուծումները մշակված են կիսահաղորդչային սարքավորումների խիստ պահանջները բավարարելու համար՝ ապահովելով ջերմային կայունություն, էլեկտրական մեկուսացում և աղտոտումից զերծ աշխատանք գերզգայուն պայմաններում։

Ինչո՞ւ ընտրել մեր 5-առանցքային ֆրեզավորված կերամիկական մեկուսիչները։

1.Արտադրության առաջադեմ հնարավորություններ

Մեր հաստատությունը հագեցած է՝ժամանակակից 5-առանցքային CNC ֆրեզերային մեքենաներ, որը հնարավորություն է տալիս միկրոնային մակարդակի ճշգրտությամբ ձևավորել առաջադեմ կերամիկա, ինչպիսիք են ալյումինը (Al₂O₃), սիլիցիումի կարբիդը (SiC) և ալյումինի նիտրիդը (AlN): Ի տարբերություն ավանդական մեթոդների, 5-առանցքային մեքենայացումը թույլ է տալիս օգտագործել բարդ երկրաչափություններ, ինչը կարևոր է այնպիսի բաղադրիչների համար, ինչպիսիք են վաֆլի բարձրացնող քորոցները, նստեցման խցիկի մասերը և պլազմային դիմացկուն մեկուսիչները:

Հիմնական առանձնահատկություններ՝

•Ճշգրտություն՝±0.005 մմ հանդուրժողականություն՝ ASML լիտոգրաֆիկ գործիքների կամ Lam Research փորագրման համակարգերի հետ անխափան ինտեգրման համար։
•Նյութի բազմակողմանիություն.Օպտիմիզացված է 99.8% ալյումինի, բարձր մաքրության SiC-ի և այլ առաջադեմ կերամիկայի համար։
•Մակերեսի ավարտ:Ra <0.2μm՝ ISO Class 1 մաքուր սենյակներում մասնիկների առաջացումը նվազագույնի հասցնելու համար։

2.Սեփականատիրական գործընթացների ճարտարագիտություն

Մեր ինժեներները մշակել ենփակ ցիկլի գործընթացների կառավարումորոնք հարմարվում են կերամիկայի փխրունությանը մեքենայացման ընթացքում: Չոր մանրացման տեխնիկան իրական ժամանակի թրթռումների մարման հետ համատեղելով՝ մենք հասնում ենք ճաքերից զերծ մակերեսների և բաղադրիչների ծառայության երկարացմանը՝ նույնիսկ ծայրահեղ ջերմային ցիկլի դեպքում (մինչև 1600°C):

Նորարարության ուշադրության կենտրոնում.

•Սթրեսի թեթևացման արձանագրություններ.Նվազագույնի հասցնել AlN մեկուսիչների միկրոկոտրվածքները CVD կիրառությունների համար։
•Մեքենայացումից հետո մշակումներ՝HIP-ը (տաք իզոստատիկ սեղմում) մեծացնում է խտությունը և կոռոզիոն դիմադրությունը։

3.Խիստ որակի ապահովում

Յուրաքանչյուր մեկուսիչ ենթարկվում է12-փուլային ստուգում, այդ թվում՝

•Կոորդինատների չափման մեքենա (CMM)կրիտիկական չափերի վավերացում։
•Հելիումի արտահոսքի փորձարկումվակուումային համատեղելիության համար։
•EDS (էներգիայի դիսպերսիոն ռենտգենյան սպեկտրոսկոպիա)նյութի մաքրությունը ստուգելու համար։

ՄերISO 9001/14001 հավաստագրված համակարգԱպահովում է հետագծելիություն՝ սկսած հումքի ձեռքբերումից (մատակարարվում է առաջին մակարդակի մատակարարներից, ինչպիսին է CoorsTek-ը) մինչև վերջնական փաթեթավորումը։

Կիրառություններ. Որտեղ ճշգրտությունը հանդիպում է կատարողականին

Մեր մեկուսիչները վստահելի են հետևյալ ոլորտներում՝

•Փորագրման և նստեցման գործիքներ՝Applied Materials™ մոդուլներում պլազմային դիմադրության համար SiC-ով պատված բաղադրիչներ։
•Իոնային իմպլանտատորներ՝Ալյումինե բարձրացնող քորոցներ՝ հակաստատիկ ծածկույթով, որոնք կանխում են վաֆլիի սահելը։
•Չափագիտության համակարգեր.EUV լիտոգրաֆիայի փուլերի համար ցածր ջերմային ընդարձակման մեկուսիչներ։

Ուսումնասիրություն.Առաջատար կիսահաղորդչային OEM-ը 40%-ով կրճատեց գործիքների պարապուրդի ժամանակը մեր հատուկ նախագծված SiC ցնցուղի գլխիկներին անցնելուց հետո, որոնք 300 մմ վաֆլի մշակման ոլորտում գերազանցեցին մրցակիցների մասերին։

Արտադրությունից այն կողմ. գործընկերային մոտեցում

•Արագ նախատիպավորում.Ներկայացրեք ձեր CAD ֆայլերը և ստացեք ֆունկցիոնալ նախատիպեր 7 օրվա ընթացքում։
•Մաքուր սենյակի տեղում փաթեթավորում.Լրացուցիչ 10-րդ դասի մաքուր սենյակի հավաքում՝ գործիքների անմիջական ինտեգրման համար։
•Կյանքի ընթացքում տեխնիկական աջակցություն.Մեր ինժեներները մատուցում են մաշվածության վերլուծության և վերամշակման ծառայություններ՝ բաղադրիչների կյանքի ցիկլը երկարացնելու համար։